第二节 光电设备

知识类型: 析出资源
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内容出处: 《福建省志·电子工业志》 图书
唯一号: 130020020230002411
颗粒名称: 第二节 光电设备
分类号: TN204
页数: 7
页码: 127-133
摘要: 本文记述了福建电子光学工业在福建省电子工业中占有重要地位,主要生产电视摄像镜头、半导体制版镜头、光学镜头、光学仪器和光机电产品等。福建光学仪器厂从20世纪50年代开始生产光学仪器,通过不断的研发和技术改进,取得了大量的科技成果。福建光学仪器厂的半导体制版镜头在国内占据重要地位,填补了国内的空白,减少了对进口产品的依赖。此外,该厂还研制生产了各种工业电视摄像镜头,广泛应用于工业生产、科研、医疗等领域。福建光学仪器厂的产品质量得到了广泛认可,获得了多项科技成果奖和国家优秀产品奖。厦门电子仪器厂也在70年代初期积极开发生产工业电视和水下电视等产品,并在水下电视领域取得了显著成果。总体来说,福建省的电子光学工业在国内同行业中具有重要地位和一定的技术优势。
关键词: 福建省 电子工业 电子专用设备 光电设备

内容

光电设备工业是福建电子工业的重要组成部分,属电子专用设备类。福建电子光学工业在全国电子工业同行业中占有重要地位。至1988年,福建电子光学工业有企业3个、研究所1个,隶属省电子精密光学设备工业公司。主要产品有电视摄像镜头、半导体制版镜头、光学镜头、光学仪器、光机电产品等。
  福建电子光学产品是50年代开始生产的。1958年,福建师范学院物理系光学仪器厂的数名青年教师,仿制生产幻灯机,并制造出福建第一台生物显微镜,倍率为1125倍。接着,又相继制造出简易教学分光仪和具有国内先进水平的高精度圆轨道光栅摄谱仪。1961年,该厂在国民经济调整中下马,但技术骨干20多人被留下来。
  1965年,福建师范学院和省重工厅合作,重建福建师范学院光学仪器厂,生产双管显微镜(又名光洁度测量显微镜),其图纸资料全部由上海长江科学仪器厂无偿提供,并调整了5名老工人来福州,充实这个厂镜片加工的粗磨、细磨、磨边、胶合等工序的加工力量。在此之前,一批刚从福建师范学院物理系毕业的学生如赖爱光、蔡长达、林丽城等,在教师刘文湖、潘英惠带领下,已在工厂对产品进行设计原理和工艺的探讨,用手摇计算机和对数表,计算了大量数据,对物镜部分进行修改计算。这是第一次自行设计的尝试。该厂组织力量搞工艺设备的研制和改造,制造出油压机、磨边机、创边机、对中车外圆机等。经过近一年的努力,终于在1966年的8、9月间制造出双管显微镜样机3台,送北京、上海等地的有关部门鉴定,取得了合格证。其时,该厂的固定资产为23.1万元。
  1969年12月,根据上级关于建立9个“小三线”电子工厂的决定,福建师范学院光学仪器厂与福州照相机厂合并,从福州搬迁至顺昌县城关井龙,厂名为顺昌光学仪器厂,后改为福建光学仪器厂(代号为国营8461厂)。1971年6月,福建光学仪器厂完成了从福州至顺昌的搬迁任务,投入了生产。产品有炮镜、显微镜和各种光学电讯仪器。
  70年代初期,为了我国电子光学事业的发展和半导体工业的迫切需要,在国家和省里的重视、支持、提供试制经费下,福建第一次自行设计出具有国内先进水平的半导体制版镜头,为解决国家急需,节省外汇支出,该厂以赖爱光为代表的一大批科技人员和技术工人,经过17年的刻苦攻关,至1988年,开发出175种具有较大经济价值的新产品。不少项目填补了国内空白,62种产品先后获全国科学大会奖、电子工业部、福建省人民政府授予的科技成果奖,福建电子光学工业在全国同行业中崭露头角。
  但是,由于“小三线”布局的不合理,工厂处境艰难,经济效益不佳,从1983年起陆续搬迁回福州:
  随着电子光学事业的发展,在原福建光学仪器厂的基础上,先后建成了福建光学技术研究所、福建光电设备厂、福建光学仪器厂,并在马尾经济技术开发区与省投资企业公司马尾支公司合营建立福建三江光电工业公司;与厦门电子仪器厂合营,建立了厦门应用电视开发公司。1984年10月,经省电子工业总公司批准,正式建立了福建电子精密光学设备工业公司。初步形成了科研、生产、销售一体化的经济技术联合体。
  一、半导体制版镜头
  半导体制版镜头是半导体工业的重要设备之一。1971年前,我国使用的制版镜头须从国外进口。随着电子工业的发展,国家急需制版镜头。为此,四机部把这一重要任务交给刚刚建厂的福建光学仪器厂。1970年10月,该厂派出4人组成的调研组赴上海、北京、杭州、南京等地调查摸底,走访了清华大学、浙江大学、上海照相机总厂、江南光学仪器厂等。在北京电子管厂参观了日本进口的精缩机后,确定了研制初、精缩镜头的方案。
  1970年12月,该厂开始研制F28小视场精缩镜头,光学设计由赖爱光担任。赖爱光是从印尼回国的华侨,福建师范学院毕业生。他所设计的是一种超高分辨率的镜头,要拍出比头发丝的1/70还细的图像,精度高,分辨率高,景深长,成像清晰,视场大,具有很高的难度。国家每进口一个这种镜头要花上万美元,而且还有附加条件,困难重重,拖了我国研制发展集成电路的后腿。他们为了拿出成果为国争光,以极大的热情精心设计,并以浙江大学教师林金波提供的设计数据作为研制1/10X小视场精缩镜头的数据。为了保证光学系统对中的要求,该厂自行设计了反射式对中胶合仪和镜车座外圆对中装置(对中仪)。这两种仪器精度具有国内先进水平。该厂用两个月时间,试制出15个镜头。但由于缺乏经验,计算失误,画出的光路设计图,经过试制失败了。
  此时,厂领导宽慰、鼓励他们,并将设计人员送到浙江大学,边学习边设计,还派技术人员蔡长达协助。在浙江大学教师林金波的帮助下,找出了F28小视场精缩镜头试制受挫的原因是计算外形尺寸数据失误,用手摇计算机把设计参数重新验算一遍,拿出了可靠的试制方案。1971年10月,重新试制的F28精缩镜头取得了成功,主要技术指标达到或超过同期进口的日本同类产品水平。该镜头1972年在秋季广交会上参展时,引起国内外的注目,受到四机部的重视和支持。1972年,四机部专用设备处拨款20多万元,为该厂添置了当时较先进的DJS-5型计算机。当年10月,在北京无线电三厂的协助下,电子计算机开通使用。从此,光学设计均由电子计算机进行,大大缩短了光学产品设计周期,使新产品开发由每年的一两种,增至五六种,年年提前完成四机部下达的研制计划。同时机械设计人员和工艺人员十分重视镜头外观、内在质量、加工控制的研究,加快了精度高、难度大的产品的研制速度,如调试一只精缩镜头,外单位要两个星期,而该厂一天可调试七八只。至1988年,该厂先后开发生产了F450制版镜头,F28(e)和F55(e)小视场精缩镜头,F55和F125小视场初缩镜头,JSD-28(e)和JSD-55(e)大视场精缩镜头,CSD-55和CSD-140大视场初缩镜头,总产量为13980只。CSD-55、CSD-140大视场初缩镜头,为电子工业部871厂的第一条国产化075生产线配套生产出中、大规模集成电路。JSD-28(e)和JSD-55(e)大视场精缩镜头,因其视场大,分辨率高,被用于制作大规模集成电路二次精缩版。1978年,这两种产品均获全国科学大会奖。
  经过广大职工、干部和技术人员的勤奋实践,福建光学仪器厂研制并生产的精、初缩制版镜头占领了国内同类产品的绝大部分市场。
  二、摄像镜头与应用电视
  1973年,福建光学仪器厂在生产半导体制版镜头的基础上,根据赖爱光通过多次参加对外商座谈所获取的科技信息,决定开发闭路电视(又称应用电视、工业电视).摄像镜头。经过10多年的实践表明,开发摄像镜头给这家企业带来了巨大的经济效益,是一项很有生命力的新产品。
  1973年5月25日,该厂接受四机部下达的试制GDS-50B定焦距工业电视镜头的任务。决定由赖爱光、蔡长达为主进行设计研制,他们很快试出了样机。当年7月,样机送北京电视设备厂鉴定,除高温超60℃实验没有过关外,其余技术指标符合设计要求。该产品原为六片式f50毫米结构,玻璃原料ZK12,价格每公斤500多元,且在加工过程中容易水解,废品率高。后改用另一种化学稳定性好的光学玻璃,每公斤仅100多元,并将镜头改成四片式结构,一些金属件改为塑料件,使产品成本下降75%,又保证了质量。这种镜头专为工业电视摄像机配套用,适合铁路运输的监视、炼钢过程的观察、地下和水下的探矿、医学解剖显示以及其它工业生产过程的监视等。GDS-50B2工业电视镜头1978年被四机部评为“质量信得过产品”。1979年又获部优称号,并送日本展出。
  接着,该厂又相继研制成功GDS-16、GDS-25、GDR-75、GDS-100、GDS-150工业电视镜头等。形成了国内2.54cm摄像管配套镜头的系列产品。1976年,该厂与四机部第三研究所及785厂合作研制电视跟踪摄像镜头。于1978年获得跟踪距离数十公里的成果。1977年,又与四机部第三研究所协作开发了4X电视电话平面电机形式的变焦摄像镜头。
  为了开发新产品的需要,该厂不断进行企业技术改造,提高生产技术效能,采用70年代的先进技术,将金刚钻砂轮磨削(磨外圆、平面、球面)应用于光学加工,使产量成倍上翻。1977年,为试制结构复杂的变焦距镜头,花费28万元从清华大学购买一台大型数控铣床。并掌握了凸轮加工技术。同时,该厂重视发挥本厂的技术力量,自力更生制造出光学粗磨、细磨的机械设备、金属切削专用机床、木工专用设备、喷漆和起重设备等共89台。对中仪和胶合仪还成为产品出售。1979年,为试制彩色摄像镜头,制出分色棱镜,并形成批量生产能力。在生产大口径微光电视摄像镜头中,又使该厂在光学和机械加工等工艺上开拓了新领域。
  福建光学仪器厂生产的各种工业电视摄像镜头,不但应用于工业生产,还应用于科研、交通、文教、医疗、公安等领域,作为监视之用。例如下列几个产品:
  CDB-16X6变焦距工业电视摄像镜头,是与工业电视摄像机配套的专用镜头,用于各种自动化生产过程的监视以及工作人员不能接近的工作场所监视等。采用电动变焦,进行远距离控制。
  CD-30定焦距彩色电视镜头,用于彩色电视摄像机,以获得彩色图像;装在无影灯上,便于室外监视和观察手术情况;观察炼钢炉炉火颜色,以及其它要求反映彩色图像的炀合观察。该产品分色系统采用三管式棱镜。
  GDK-50A定焦距遥控工业电视镜头,是配套于工业电视摄像机的专用镜头,适用于有毒、有害、高温、放射性等工作人员不能直接进行生产或试验的场所,其调距和调光圈由两个伺服电机带动,可进行远距离控制;2/3英寸三管制彩色变焦摄像镜头,是与2/3英寸三管彩色工业摄像机配套的专用镜头,具有体积小,重量轻,便于携带等优点。用于各种自动化生产过程中对工作人员不能接近的场所进行监视;在医院手术室、教学等场所用途也很广。
  在为军工领域配套镜头方面,该厂的成绩也十分显著。先后研制出导弹制导电视摄像镜头、长焦距摄像镜头、微光电视摄像镜头等。DSW-300微光电视镜头,在黑夜也能搜索出一定距离内的精确目标。既可在军事领域上使用,又可在工业电视方面使用。1982年,该厂和省光学技术研究所对TMG-59坦克火控系统瞄准镜头进行改装设计,完成了第一次试打实验,但光点在边缘仍偏大。在新的研制过程中,总装技术工人张道斌、潘黎明根据调整的现象对设计结构提出建议。这个建议经论证并通过总装检验是合理的,由赖爱光进行重新设计成功。它被作为技术开发优秀项目,荣获国家经委颁发的“新产品开发奖”。1983年,该产品再进入国家靶场现场打靶试验,命中率超过了从英国、南斯拉夫进口的70年代同类产品。
  1975年,在厦门召开的全国工业电视会议上,据调查,参加会议的85%左右的厂家,使用了福建光学仪器厂生产的摄像镜头。1983年,该厂在福州西湖宾馆召开摄像镜头鉴定会,经鉴定,有17种产品达到国内先进水平。
  从1973年到1988年,福建光学仪器厂共生产出90多种摄像镜头,共28900只。其中有40多种填补了我国电子光学工业的缺门。
  厦门电子仪器厂在70年代初期积极开发生产工业电视和水下电视等。1976年以前,该厂引进英国水下电视技术,生产的水下电视应用在1976年唐山大地震时对北京密云水库有险情之说的测试中,取得显著的成效。为检测密云水库堤坝可能出现的问题,中央防洪指挥部急调厦门电子仪器厂的水下电视,参加密云水库险情的检测工作。该厂领导郑义源和厦门大学副教授刘士毅等6人带着水下电视连夜赴京,在水手的配合下,用水下电视设备探测了大坝的水下状况。为分析判断大坝是否出现险情提供了科学依据。经水下电视观测,确定大坝没有问题,从而排除了水库有险情之说,对稳住北京的民心起了重要作用,受到了中央防洪指挥部的表扬。此外,该厂的水下电视还在检查新安江水库中起了很大作用。
  三、光学仪器
  福建生产的光学仪器主要有显微镜、激光平整度检测仪、紫外线照度计、激光腐蚀监控仪等。生产企业有福建光学仪器厂、福建无线电配件厂、顺昌县无线电厂、厦门光学仪器厂、光泽无线电厂等。
  (一)显微镜
  1970年,我国微电子工业迅速发展,急需为之配套显微镜,福建光学仪器厂当年仿制了江南光学仪器厂的变档式体视显微镜(l00x)。对该产品使用的玻璃材料吸收系数较大、结构复杂,作了较大修改。修改工作由赖爱光、占柱臣、林茂智等人负责,参考了福州照相机厂生产的直筒体视显微镜,采用了一种镜头转换方法,体积小,镜片也减小。产品试制出来后,虽不甚成功,但对这个厂的设计人员是一次很有意义的锻炼,也是这个厂光学自行设计的一个突破性开端。1972年,该厂设计研制了6台援助罗马尼亚的连续变倍体视显微镜和1〇台援助朝鲜的40X指形镜体视显微镜的任务。1976年,根据进口的国外变倍体视显微镜样机,自行设计和生产了XTD-I型体视显微镜。这种显微镜成像清晰、工作距大、使用方便。特别是因具有正像立体感和观察目镜筒与工作台面倾斜45度,成为半导体器件生产和精密仪器仪表装配、检修等行业的专用仪器。1970年至1981年,该厂共生产显微镜1626台。品种有双视场显微镜、连续变倍体视显微镜、直筒体视显微镜、精缩机观察显微镜、生物显微镜等。
  1976年,福建无线电配件厂试制生产双视场显微镜,为四机部708厂配套。这种显微镜用于集成电路和大规模集成电路制作中的光刻工序。必须具有工作距离长、景深长、成像清晰、照明均匀等条件。当年12月,该厂与708厂达成移交双视场显微镜生产的技术协议书。1977年9月,省电子局召开了双视场显微镜会战的会议,要求在1978年前完成600台的任务。
  参加会议的有福建无线电厂、光泽光学仪器厂、福建无线电元件厂、闽清电瓷厂、福州照相机厂、三明光学仪器厂、福建光学仪器厂和福建无线电配件厂等。福建无线电配件厂1978年生产了136台,至1980年生产了223台(福建光学仪器厂共生产378台)。
  1977年至1980年间,厦门光学仪器厂生产GX观察显微镜249台、对刀显微镜450台;顺昌县无线电光学元件厂生产光学镜片36451片;光泽光学仪器厂生产光学镜片21940片;福建无线电配件厂专门建立光学车间,自行研磨光学镜片,还生产F25工业镜头、1.5~3倍放大镜、聚光镜等产品。
  (二)激光仪器
  1972年,福建光学仪器厂组建了一个激光仪器研制小组,研制课题是C02激光器。该厂还与福建物质结构研究所和成都电讯工程学院合作研制激光多路通讯的收、发射光学天线。
  激光仪器的生产始于1980年。主要产品有JP-I型激光平整度检测仪、FJ-I型激光腐蚀监控仪和激光空间滤波器。该厂与省光学技术研究所研制的JP-I型激光平整度检测仪获1980年福建省科技成果三等奖。该产品是利用光波干涉法测超微粒干板和硅片表面以及其它低反射率的光学平整度仪器。附有棱镜部件,更换棱镜,可分别测试不同规格的方形粒干板圆形硅片,是集成电路工艺的一种重要检测仪器。FJ-I型激光腐蚀监控仪,是采用光的相干原理对半导体制作工艺中的硅晶片膜层的腐蚀进行精确地监控,可及时得知腐蚀层厚和腐蚀终点,避免腐蚀不足或过度腐蚀。监控时,仪器的控制精度等性能,不受腐蚀气体(或液体)的浓度和温度等因素的影响。该仪器对湿化学腐蚀和等离子腐蚀都能使用,并能相对精确监控外延层生产厚度。该产品填补了国内这方面的空白。
  (三)照度计
  福建光学仪器厂开发的ZZH-10型紫外线照度计,是仿日本USH10电气公司UIT-100型紫外线照度计试制生产的新产品。该产品使用新型的光敏场效应管作为探测元件,通过紫外滤色片可测量汞灯的紫外光辐射强度。主要用于测量光刻机、掩膜机、翻版机中紫外光源的均匀性和平行性,保证光刻机和复印的质量,提高成品率;也可用于使用汞灯作为紫外光源的其它场合,对于其它紫外光源亦可进行相对的测量。其技术性能良好,主要技术指标达到或接近UIT-100型产品水平,其中量程范围超过UIT-100型产品的3倍。
  福建光学仪器厂从1980年至1988年,共生产各种光学仪器(不含显微镜及镜片)1355台。
  四、光、机、电产品
  1980年,.福建光学仪器厂因产品市场变化而出现了困难。1980年、1981年,利润从100多万元跌到20多万元。此时,省电子工业局要求该厂大力发展民用产品,生产照相机,并致力开发有生命力的光、机、电结合的整机产品。80年代,福建电子光学工业闯出了一条新路子,引进国外先进技术并不断加速国产化,生产出有特色的光、机、电整机——“福美牌”复印机。
  (一)照相机
  1981年,省电子工业局组织国营8461厂、8472厂、8420厂、8450厂、福州照相机厂、顺昌和光泽的光学仪器厂等单位会战攻关照相机,并取得省经委拨给技改费50万元的支持,开始研制简易135照相机和简易120照相机。当年12月18日,国家机械委照相机布点定点论证调查组到该厂论证调查照相机试制生产情况,向省里建议给予支持。1982年,135和120照相机通过了技术鉴定,投入生产。后因135相机生产工艺有问题未能投入市场。120照相机取名“集美”牌,是一种简易(拍16张片)照相机。该机外壳等塑料件依靠外协,效益差,未能大发展。1982年至1985年,共生产2.92万部。1985年后停止生产。
  (二)复印机
  1982年,福建光学仪器厂决定开发国内尚未流行的复印机产品。该厂向省有关部门申请外汇195万美元,请求进口日本RICON-T5200型复印机散件1000台(套),组装内销。1982年4月21日,经日本三明通商株式会社介绍,与日本理光分公司在榕就引进和贸易业务进行了谈判。当年,省计委、进出口办、财政厅联合发文同意该厂进口复印机散件500台(套),批给外汇100万美元。7月24日,省人民政府批复了这一文件,省外贸局发给了进口许可证。7月25日,该厂将DT5200型复印机样机送北京复印机服务中心展销。8月份就签订销售合同270台。据统计,这种机型的复印机先后引进了778台。
  福建光学仪器厂引进复印机散件组装的目的是逐步发展,从合作生产到国内配套、消化生产复印机。因日本理光公司执行合同过程中,交货不及时,并对帮助消化技术缺乏诚意,所以,1982年10月中旬,该厂又和日本三田工业株式会社洽谈引进项目,并签订了合同。1983年2月,经省计委批准该厂引进复印机组装件480台(套)。3月4日,省计委、经委联合发文同意该厂扩建复印机生产线。这条生产线厂房建在福州市西门大梦山,后扩建为福建光电设备厂。1983年6月,该厂由省电子进出口公司、省华福公司分别通过日本三明通商株式会社、香港荣丰贸易公司向日本理光公司和三田工业公司签订6次合同,进口DT5200、DC-133R、DC-232三种机型复印机组装件980台(套),用外汇180.19万美元,售出的720台(套)创税利597.25万元(其中海关税80.1万元,进口及出口工商税77.78万元,省财政及省华福公司得利187.47万元,纯利251.9万元)。
  1983年7月23日,福建光学仪器广与日本三田工业公司达成技贸合作协议,规定进口美达牌静电复印机散装件3000台(套),从1983年起,分三年交货,商标改用“福美牌”,型号不变。8月,日本三田公司派技术人员来榕进行技术指导,帮助建立美达复印机维修中心。1984年2月,日方无偿提供一条年产3000台复印机的装配生产线设备并给予技术指导。8月19日,复印机生产线在新建立的福建光电设备厂开工投产。从此,福建光电设备厂成为全省唯一生产复印机产品的专业工厂,建厂后,该厂组装、生产DC系列复印机2000台,品种有DC-121、DC-211、DC-213RE系列。该厂重视售后服务,建立反馈档案,在全国设立了40多个服务维修网点。据信息反馈,福美牌复印机售出4000台而无一报废。按常规,复印机一般使用30万张次,而有一台福美牌复印机已复印130万张次,还在继续使用。福美牌复印机在全国同行业质量评比中获第一名,销售量居全国同类产品的前茅。1985年,全省复印机总产量为1045台(福建光电设备厂499台,福建三江光电工业公司265台,福建光学仪器厂281台)。福建光学仪器厂从1982年至1984年共销售复印机1683台,纯利555.76万元,还不包括易耗件及辅助材料的销售纯利。至1986年,福建光电设备厂生产复印机2019台。1987年,该厂复印机产品因未能列入国家定点项目而停止生产。在复印机引进后的国产化工作中,福建光学仪器厂曾组织过攻关小组对美达121和133R两种型号的复印机作了部分测绘,但因选型不当,测绘工作停止。1984年3月,该厂曾研制复印机121和211两种型号的光学镜头,由于膜系与国外产品有异,未能继续进行。福建光电设备厂的复印机国产化攻关小组的研制颇有进展,各个机型的卤素灯、消耗材料、硒鼓、热辊、各种塑料齿轮等零配件实现了国产化,已取得整机30%国产化的成果。

知识出处

福建省志·电子工业志

《福建省志·电子工业志》

本书记录了福建省电子工业有史料记载以来至1988年止,全行业的发展与现状。

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