抚顺市图书馆 内容
为满足科研和生产的急需，适应我国电子工业的发展，我市无线电厂经过半年多时间的艰苦奋战，在七机部五〇二所的协助下，于今年四月试制成功程序控温液相外延炉，并在本月二十五日进行了鉴定。这种炉子的主要技术指标接近国际水平，为我国填补了高精度、高稳定性液相外延工艺设备的空白。
程序控温液相外延炉是由控制柜、炉体、炉体车、热管和高温铂电阻等几个主要部件组成。是激光、微波、红外、发光二极管等液相外延工艺的关键设备。它能够大幅度地改善炉温分布的均匀性和抗外界干扰，使炉温保持均衡。这种新技术的诞生，将为我国电子工业的发展做出贡献。
程序控温液相外延炉是由控制柜、炉体、炉体车、热管和高温铂电阻等几个主要部件组成。是激光、微波、红外、发光二极管等液相外延工艺的关键设备。它能够大幅度地改善炉温分布的均匀性和抗外界干扰，使炉温保持均衡。这种新技术的诞生，将为我国电子工业的发展做出贡献。
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